服務與支持| 網站地圖   服务馒头蝴蝶鲍一线天 服務馒头蝴蝶鲍一线天:0755-88866589

當前位置:馒头蝴蝶鲍一线天 >  馒头蝴蝶鲍一线天中心  >  表面分析儀器

馒头蝴蝶鲍一线天中心product

馒头蝴蝶鲍一线天contact us

馒头蝴蝶鲍一线天:18923899313
TEL :18923899035
馒头蝴蝶鲍一线天:0755-88866589
Q  Q : 145691763
Q  Q : 434413525
馒头蝴蝶鲍一线天:深圳市寶安區福海街道新和社區福園一路35號天瑞工業園B7棟803

高分辨聚焦離子束掃描電鏡XEIA

产 品 名:高分辨聚焦離子束掃描電鏡XEIA


新一代超高分辨雙束聚焦掃描電鏡工作平台

        XEIA3,是一款獨特的集多種功能于一體的新型雙束聚焦(XE)掃描電子顯微鏡,它性能優異,爲用戶提供完美的整體解決方案。XEIA3不僅配有大功率的FIB以進行超快速的微米或納米級切割,還具備出色的低能粒子束成像能力,同時亦可以進行快速可靠地顯微分析以及樣品分析的3D重建。


馒头蝴蝶鲍一线天說明| 基本參數| 馒头蝴蝶鲍一线天性能

 關鍵參數特征
功能強大的SEM電子光學系統,采用高亮度的Schottky發射器爲電子源,具有束流大,噪點低,非凡的成像能力等特點
 In-Beam探測器能夠確保在極小的工作距離下仍能收集信號,進行高品質成像
 采用Xe等離子體源的超快速FIB系統 束流大,具有驚人的離子束切割速度,因此在切除大體積塊狀材料時卓有成效;同時較低的離子束流便于完成樣品表面抛光
電子束減速技術(BDT助力于進行超低著陸電壓下的完美成像
隔離材料的植入、摻雜或降解更少,這點對于半導體馒头蝴蝶鲍一线天相當重要
SEM FIB两系統互补,即使用FIB進行樣品切割或沈積時,可同時進行SEM成像拍照
TESCAN電鏡獨有的各種自動化操作技術,如In-Flight Beam TracingTM技術可通過計算精確的調節高分辨率成像所需的參數設置(例如工作距離WD、放大倍率等)
DrawBeam 軟件模塊是一個便于進行圖案設計的工具,3D功能亦很強大,使用它可在FIB切割或粒子束蝕刻等過程可實時獲取圖像
3D EDX3D EBSD等三維顯微分析技術帶來全新的解決方案
獨家集成了飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)與 掃描探針顯微技術,可擴展的大樣品室,使用戶能夠進行6’’8’’ and 12’’ 的晶片光刻檢驗12’’ 晶片光刻檢驗是TESCAN電鏡獨有的技術能力
气体注入系統 (GIS) 有助于使FIB完成更多應用
高性能的電子成像能力,其成像速率可高達20 ns/pxl, 同時具備出色的沈積速率及超快的掃描速度

渦輪分子泵及前級泵的高效能有利于保持樣品室的清潔度;電子槍通過離子吸氣泵獲得真空


  爲用户需求提供具体解决方案


TESCAN公司不仅爲用户提供馒头蝴蝶鲍一线天领先的先进仪器设备,而且长期致力于爲研究者提供最大的馒头蝴蝶鲍一线天以推动人类科学與技术的进步 XEIA3新型電鏡的推出,彰顯了TESCAN的這份使命感。同時,這點也體現在TESCAN积极地爲用户提供全方位的定制化服务上。TESCAN願攜手來自材料/生命科學以及半導體/工程等諸多馒头蝴蝶鲍一线天領域的研究人員,共同迎接未來的挑戰。


  Xe等離子體源,极大地扩展FIB的应用能力


XEIA3型电镜爲双束聚焦扫描电子显微镜,同时集成了以Xe等离子体爲离子源的FIB系統和具有超高分辨率的SEM系統。FIBSEM两系統的协同作用,能够完成一项迄今爲止尚未实现的功能——以极快的速度进行大块材料的FIB切割去除。同時,SEM电子显微系統具有低于2nm的極佳分辨率,能夠幫助科學研究或高科技産業開發並完成更多的應用。而且,大束流的等離子體離子源也能大大擴展該電鏡的使用範圍,幫助用戶完成更多工作。



  应用实例


半導體和微電子領域


Xe等離子體源的FIB系統,能够爲用户提供更加快速便捷的技术手段,使其更好地利用能谱(EDX)、波譜(WD)等化學成分分析方法,更能夠充分發揮3D EDX3D EBSD的功能及特點。同時,XEIA3還能夠搭載飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS),用于進行優異分辨率的表面分析。以上可知,XEIA3是一個功能超級全面的分析平台,其在材料科學領域所呈現的研究能力顯而易見。


    新材料及其形貌表征的研究
               晶體、陶瓷及高分子等非導電材料研究
   複雜結構碳納米管的圖案結構觀察
 
            碳纳米管                             Ag纳米线

  材料科学


XEIA3雙束聚焦離子束掃描電鏡配有大功率Xe等離子體源FIB系統,特别适合半导体和微电子馒头蝴蝶鲍一线天的检测和应用。用户可采用大束流进行快速FIB切割,大束流也適用于制備材料薄層切片或切割較大橫截面;使用中等束流進行抛光,並去除表面加工痕迹;小束流用于進行切割截面或薄層切片最後的精抛光。另外,FIB進行離子刻蝕能夠獲得更好的蝕刻圖案分辨率。


 


             制备薄片樣品                                  釺焊隆起界面細節觀察 

  生命科学


XEIA3聚焦離子束掃描電鏡的超強成像能力,能夠在自然狀態下對多種生物樣品進行觀察、成像。生物樣品不需要噴塗導電層,也不用進行化學固定,因此整個分析過程大大簡化,非常便于用戶操作。



    微生物學
    生物医学工程
    生物细胞與组织学
    细胞鉴定
    制药学及制药工程
    动力学过程的研究,如物质晶化或溶解等过程
    颗粒物特性研究,如颗粒尺寸、孔隙率、颗粒结构及污染物等

   
               白鼠大脑组织        一組纖維母細胞細節觀察

熱門推薦